منصة الحركة العملاقة XYZT لفحص الرقاقة
Suzhou Deaote Precision Mould Co., Ltd.، التي تقع في منطقة Wuzhong بمدينة Suzhou، مقاطعة Jiangsu، هي شركة رائدة في تصنيع مرحلة الحركة العملاقة XYZT عالية الدقة لتطبيقات فحص الرقاقة. مع أكثر من 18 عامًا من الخبرة في التصنيع الدقيق والتحكم في الحركة، نحن متخصصون في إنتاج أنظمة تحديد المواقع العملاقة المخصصة ذات 4 محاور (X/Y/Z/Theta) التي توفر دقة دون الميكرون لمعدات فحص الرقاقات مقاس 200 مم و300 مم و450 مم.
تدمج منصة الحركة القنطرية XYZT الخاصة بنا لفحص الرقاقة قواعد الجرانيت عالية الصلابة، وأدلة حمل الهواء، ومحركات المحركات الخطية، وأجهزة التشفير الضوئية الدقيقة لتحقيق دقة تحديد المواقع ±1 ميكرومتر وقابلية التكرار ±0.1 ميكرومتر. تم تصميم مراحلنا العملاقة للتشغيل على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع في بيئات غرف الأبحاث (الفئة 100/الفئة 10)، وتتميز بالاهتزاز المنخفض للغاية، والاستجابة الديناميكية العالية (السرعة القصوى 500 مم/ثانية)، والثبات الحراري لضمان الكشف الموثوق عن عيوب الرقاقة وقياس الأبعاد عبر دورة حياة الإنتاج بأكملها.
● مرحلة الحركة العملاقة XYZT المخصصة لفحص الرقاقات المصممة وفقًا لمواصفات معدات فحص الرقاقات ورسومات CAD
● دقة تحديد المواقع تبلغ ±1 ميكرومتر مع إمكانية التكرار على مستوى النانومتر (±0.1 ميكرومتر) لقياسات الرقاقة المهمة
● تقنية تحمل الهواء لحركة خالية من الاحتكاك وتوليد صفر جسيمات في بيئات غرف الأبحاث
● تصميم مستقر حرارياً مع تحكم نشط في درجة الحرارة (±0.01 درجة مئوية) للحصول على دقة فائقة
● تصنيع حاصل على شهادة ISO 9001:2015 مع إمكانية التتبع الكامل للامتثال لصناعة أشباه الموصلات
الميزات الرئيسية والمزايا الأساسية
تصميم ميكانيكي عالي الصلابة
تتميز منصة الحركة القنطرية XYZT الخاصة بنا لفحص الرقاقة بقواعد جرانيتية متجانسة (معامل التمدد الحراري < 0.5 × 10⁻⁶/درجة مئوية) وعوارض جسرية من البوليمر المقوى بألياف الكربون (CFRP) لتحقيق صلابة هيكلية استثنائية والحد الأدنى من التشوه الحراري. يعمل تصميم القنطرية المتماثل على التخلص من خطأ Abbe ويضمن توزيعًا موحدًا للحمل عبر منطقة فحص الرقاقة بأكملها.
نظام التحكم الدقيق في الحركة
متكاملة مع محركات خطية عالية الأداء (صفر رد فعل عكسي، تسارع عالي) وأجهزة تشفير بصرية مطلقة (دقة 1 نانومتر)، توفر مراحلنا العملاقة XYZT حركة سلسة ودقيقة بدقة أقل من الميكرون. تعوض خوارزمية التحكم المؤازرة المتقدمة الأخطاء الديناميكية وتضمن استقرار تحديد المواقع على مستوى النانومتر أثناء عمليات مسح الرقاقة.
تصميم جاهز للغرف النظيفة
تم تصميم كل مرحلة حركة جسرية XYZT لفحص الرقاقة لتشغيل غرف الأبحاث من الفئة 100/الفئة 10 بمكونات متوافقة مع الفراغ، وأدلة خطية محكمة الغلق، ومواد منخفضة إطلاق الغازات (متوافقة مع SEMI S2-0701). تعمل تقنية تحمل الهواء على منع توليد الجسيمات، بينما يمنع نظام إدارة الكابلات المغلقة التلوث أثناء دورات فحص الرقاقة عالية السرعة.
المواصفات الفنية
|
نموذج المرحلة العملاقة XYZT |
نطاق السفر (X/Y/Z/ثيتا) |
مواصفات الأداء |
|
DT-WI200 (رقاقة 200 مم) |
300×300×50 ملم / ±3° |
الدقة ±1 ميكرومتر، التكرار ±0.1 ميكرومتر، السرعة 500 مم/الثانية، التسارع 5 م/الثانية² |
|
DT-WI300 (رقاقة 300 ملم) |
400×400×75 ملم / ±3° |
الدقة ±1.5 ميكرومتر، التكرار ±0.2 ميكرومتر، السرعة 400 مم/الثانية، التسارع 4 م/الثانية² |
|
DT-WI450 (رقاقة 450 مم) |
500×500×100 ملم / ±3° |
الدقة ±2 ميكرومتر، التكرار ±0.3 ميكرومتر، السرعة 300 مم/الثانية، التسارع 3 م/الثانية² |
|
DT-WI-مخصص (مخصص) |
مخصص حسب المتطلبات |
دقة/تكرار مخصصة، سرعة/تسارع مخصص، تصنيف غرف الأبحاث المتخصصة |
المواصفات الميكانيكية
المادة الأساسية: الجرانيت الأسود (00 级) / مركب CFRP
نظام التوجيه: محامل هواء دقيقة / أدلة أسطوانية خطية
نظام القيادة: محركات خطية بدون فرش / محركات مؤازرة ذات براغي كروية
التعليقات: أجهزة التشفير الضوئية المطلقة (دقة 1 نانومتر)
المواصفات البيئية
● درجة حرارة التشغيل: 20±0.5 درجة مئوية (التحكم الحراري النشط)
● تصنيف غرف الأبحاث: الفئة 100 (فئة ISO 5) / الفئة 10 (فئة ISO 4)
● عزل الاهتزاز: نظام التحكم في الاهتزاز النشط/السلبي
● مصدر الطاقة: 200-240 فولت تيار متردد، 50/60 هرتز، مرحلة واحدة/3 مراحل
التطبيقات
● المسح الضوئي عالي السرعة للرقائق مقاس 200 مم/300 مم/450 مم بحثًا عن عيوب الجسيمات والأنماط
● تحديد المواقع على مستوى نانومتر لأنظمة الكشف عن العيوب البصرية/المجهرية
● تعويض التسطيح الديناميكي لفحص الرقاقة الملتوية
● التكامل مع أدوات الفحص بالليزر والمجهر الإلكتروني
قياس الرقاقة
رقاقة قياس الأبعاد
● القياس الدقيق لسماكة الرقاقة، والقوس، ومعلمات الالتواء
● محاذاة المستوى الفرعي للميكرون لأنظمة قياس التراكب
● تحديد المواقع المستقر حرارياً للقياسات الحساسة لدرجة الحرارة
● القياس الآلي على الخط لعمليات تصنيع الرقاقات
معالجة الويفر
معالجة الرقائق والتعامل معها
● محاذاة عالية الدقة لعمليات الطباعة الحجرية والنقش على الرقاقات
● أنظمة مناولة ونقل الرقاقات المتوافقة مع غرف الأبحاث
● تحديد الموقع الديناميكي لعمليات التقطيع بالليزر وترقق الويفر
● التكامل مع أنظمة التعامل مع الرقاقات الآلية والأتمتة
الكلمات الساخنة: الصين XYZT مرحلة الحركة العملاقة لفحص الرقاقة الصانع والمورد والمصنع
إرسال استفسار
معلومات الاتصال
-
عنوان
المبنى رقم 5، حديقة يويوانغ لريادة الأعمال، رقم 2011 طريق تيان إي دانغ، شارع هينغجينغ، منطقة ووتشونغ للتنمية الاقتصادية، سوتشو، مقاطعة جيانغسو، الصين
-
هاتف
-
بريد إلكتروني
هل تبحث عن سعر الجملة المناسب؟ أرسل رسوماتك أو عيناتك إلى Deaote الآن. يقدم فريقنا المحترف تعليقات سريعة وعروض أسعار عالية الجودة مباشرة من المصنع.
