اختبار الويفر مقاس 6 أو 8 بوصات

تم تصميم اختبار الرقاقة مقاس 6 أو 8 بوصات من Deaote لتلبية المتطلبات الصارمة للاختبار على مستوى الرقاقة - بما في ذلك دقة تحديد المواقع دون الميكرون، والتحكم المستقر في قوة الاتصال، والتوافق مع أنواع الرقاقات المتنوعة - تدمج محطة المسبار هذه أنظمة التحكم في الحركة المتقدمة، وتقنية ظرف الفراغ، والتصميم المضاد للاهتزاز لتقديم أداء موثوق ومتكرر للتوصيف الكهربائي، والاختبار البارامتري، واختبار الموثوقية لرقائق أشباه الموصلات.

تم تصميم محطة مسبار اختبار الويفر مقاس 6 أو 8 بوصات بفضل عقود من خبرة Deaote في تصنيع القوالب الدقيقة ومكونات الحركة، وتتميز بقاعدة جرانيت صلبة ومستقرة حراريًا ومرحلة XY فائقة الدقة، مما يضمن محاذاة مستوى الميكرون بين بطاقات المسبار وقوالب الويفر. وهو متوافق مع مجموعة واسعة من بطاقات المسبار (العمودي، الكابولي، MEMS) ومعدات الاختبار (أنظمة ATE، والمحللات البارامترية)، مما يجعله مناسبًا لكل من البحث والتطوير واختبار الإنتاج بكميات كبيرة لرقائق المنطق ورقائق الذاكرة وأشباه موصلات الطاقة والأجهزة الإلكترونية البصرية.

يتيح التصميم المعياري لمحطة مسبار اختبار الويفر مقاس 6 أو 8 بوصات سهولة التخصيص لتلبية متطلبات الاختبار المحددة، بما في ذلك خيارات ظرف التحكم في درجة الحرارة (-40 درجة مئوية إلى 150 درجة مئوية) لاختبار درجة الحرارة العالية/المنخفضة، والتعامل الآلي مع الرقاقة لإنتاج إنتاجية عالية، والتكامل السلس مع أنظمة الحصول على البيانات. يساعد الحل الذي نقدمه الشركات المصنعة لأشباه الموصلات ومختبرات الاختبار على تحسين دقة الاختبار، وتقليل معدلات الفشل الكاذب، وتعزيز كفاءة الاختبار بشكل عام.

المزايا الأساسية

1. دقة تحديد المواقع دون الميكرون

مجهزة بتغذية راجعة ذات حلقة مغلقة للتشفير الخطي عالي الدقة (دقة 0.05 ميكرومتر) ومرحلة XY الحاملة للهواء، تحقق محطة المسبار دقة تحديد موضع متكرر ± 0.5 ميكرومتر ودقة تحديد موضع مطلقة ± 1 ميكرومتر لمحاذاة الرقاقة. وهذا يضمن الاتصال الدقيق بين إبر المسبار ومنصات الرقاقة (دقة الاتصال ≥1μm)، مما يزيل أخطاء الاختبار الناجمة عن سوء المحاذاة ويضمن نتائج موثوقة للتوصيف الكهربائي.

2. التحكم في قوة الاتصال المستقرة

يتيح المحرك الخزفي الكهرضغطي المتكامل ونظام استشعار القوة التحكم الدقيق في قوة تلامس المسبار (0.1 جم إلى 50 جم لكل إبرة)، مع توزيع موحد للقوة عبر بطاقة المسبار. وهذا يمنع تلف وسادة الرقاقة (الخدش، والتصفيح) ويضمن مقاومة متسقة للتلامس الكهربائي، وهو أمر بالغ الأهمية لتطبيقات اختبار الرقاقة منخفضة الطاقة وعالية التردد.

3. تصميم مستقر حرارياً ومضاد للاهتزاز

تم تشييد محطة المسبار بقاعدة من الجرانيت الطبيعي (معامل تمدد حراري منخفض للغاية ≥0.5×10⁻⁶/°C) ونظام نشط مضاد للاهتزاز، مما يقلل من الانحراف الموضعي الناتج عن تقلبات درجات الحرارة والاهتزازات الخارجية. ويضمن الظرف المثبت بدرجة الحرارة (استقرار درجة الحرارة ±0.1 درجة مئوية) أيضًا ظروف اختبار متسقة، وهو أمر ضروري للاختبار البارامتري عالي الدقة لأشباه الموصلات.

4. توافق ومرونة الرقاقة مقاس 6/8 بوصة

تدعم محطة مسبار اختبار الويفر مقاس 6 أو 8 بوصات التبديل السلس بين أحجام الويفر مقاس 6 بوصات و8 بوصات مع ظرف فراغ قابل للتعديل وأدلة محاذاة الويفر، دون الحاجة إلى استبدال تركيبات مخصصة. وهو متوافق مع أنواع مختلفة من الرقاقات (السيليكون، وGAA، وSiC، وGaN) وسمك (100 ميكرومتر إلى 775 ميكرومتر)، ويتكيف مع احتياجات اختبار أشباه الموصلات المتنوعة (المنطق، والذاكرة، وأجهزة الطاقة، والإلكترونيات الضوئية).

5. إنتاجية عالية وسهولة التشغيل

تعمل خوارزميات التحكم في الحركة المُحسّنة على تمكين حركة مرحلة الرقاقة السريعة (أقصى سرعة 100 مم/ثانية) وتحديد موضع القالب إلى القالب بسرعة (وقت الاستقرار ≥50 مللي ثانية)، مما يدعم اختبار الإنتاجية العالية (ما يصل إلى 2000 قالب في الساعة). تعمل واجهة HMI البديهية التي تعمل باللمس والبرامج المتوافقة (واجهات GPIB وUSB وEthernet) على تمكين التكامل السهل مع أنظمة ATE وسير عمل الاختبار الآلي، مما يقلل من وقت تدريب المشغل والأخطاء البشرية.

6. صيانة منخفضة وعمر خدمة طويل

تعمل مرحلة تحمل الهواء وآليات الدفع غير المتصلة على التخلص من التآكل الميكانيكي، مما يقلل من تكرار الصيانة ويطيل عمر الخدمة (MTBF ≥30,000 ساعة). يمنع التصميم المغلق المزود بنظام ترشيح HEPA تلوث الرقائق وبطاقات المسبار بالغبار، بينما تضمن درجة الحماية IP54 التشغيل الموثوق به في بيئات غرف الأبحاث (الفئة 1000/100).

المواصفات الفنية

سيناريوهات التطبيق

تم تصميمها خصيصًا لاختبار الرقاقة مقاس 6/8 بوصة، ويتم استخدام محطة المسبار الخاصة بنا على نطاق واسع في تطبيقات اختبار أشباه الموصلات التالية:

● الاختبار البارامتري: توصيف التيار المستمر/التيار المتردد للرقائق المنطقية، ورقائق الذاكرة (DRAM، وNAND)، وأشباه موصلات الطاقة (MOSFET، وIGBT)

● اختبار الموثوقية: دورة درجات الحرارة العالية/المنخفضة، واختبار الاحتراق، واختبار مدى الحياة لأجهزة أشباه الموصلات

● اختبار الأجهزة الإلكترونية الضوئية: الصمام الثنائي الليزري (LD)، والصمام الثنائي الضوئي (PD)، واختبار مستوى رقاقة LED

● اختبار أشباه الموصلات المركبة: اختبار رقائق GaAs، وSiC، وGaN لأجهزة الترددات اللاسلكية وأجهزة الطاقة

● البحث والتطوير وإنتاج الدفعات الصغيرة: النماذج الأولية واختبار التحقق من صحة تصميمات أشباه الموصلات الجديدة

حول ديوت

Suzhou Deaote Precision Mould Co., Ltd. هي شركة رائدة في مجال التكنولوجيا الفائقة متخصصة في البحث والتطوير والتصنيع والمبيعات للقوالب الدقيقة ومكونات الحركة عالية الدقة ومعدات اختبار أشباه الموصلات المخصصة. مع أكثر من 15 عامًا من الخبرة في التصنيع الدقيق، فإننا نخدم العملاء العالميين في قطاعات أشباه الموصلات والإلكترونيات والأتمتة الصناعية.

تعمل محطة مسبار اختبار الويفر مقاس 6 أو 8 بوصات لدينا على الاستفادة من تقنية القوالب الدقيقة الأساسية لدينا وخبرتنا في التحكم في الحركة لمواجهة التحديات الفريدة لاختبار رقائق أشباه الموصلات. نحن نقدم حلولاً شاملة، بدءًا من تصميم محطة الفحص المخصصة وحتى التثبيت في الموقع والمعايرة ودعم ما بعد البيع، مما يضمن تلبية منتجاتنا لأعلى معايير الدقة والموثوقية والكفاءة.

ملتزمة بـ "الدقة تدفع التقدم، والابتكار يخلق القيمة"، تلتزم Suzhou Deaote بأنظمة إدارة الجودة الصارمة (شهادة ISO 9001:2015) والاستثمار المستمر في البحث والتطوير، وتقديم حلول الاختبار التي تساعد عملائنا على البقاء قادرين على المنافسة في صناعة أشباه الموصلات سريعة التطور.