حز الرقاقة

بناءً على خبرة Deaote التي تزيد عن 15 عامًا في تصنيع القوالب الدقيقة ومكونات الحركة، يعمل تصميم ماكينة شق الويفر على تحسين الصلابة الهيكلية مع تقليل أثر المنصة، مما يجعلها مثالية للتكامل في معدات معالجة الرقاقات المدمجة. تتميز المنصة بقاعدة من الجرانيت لتحقيق الاستقرار الحراري والأداء المضاد للاهتزاز، مما يضمن عمق الحز المتسق (تفاوت ± 5 ميكرومتر) ودقة عرض الفتحة (± 3 ميكرومتر) حتى أثناء التشغيل المستمر عالي السرعة في بيئات غرف الأبحاث (الفئة 100/1000).

متوافقة مع أدوات قطع الماس، ورؤوس الحز بالليزر، وأنظمة حفر البلازما، تدعم ماكينة شق الويفر متطلبات حز الرقاقة المتنوعة - بما في ذلك تقطيع الشوارع إلى مكعبات، وفتحات تشذيب الحواف، والأخاديد ذات الشكل المخصص لتغليف أشباه موصلات الطاقة. يسمح تصميمها المعياري بتخصيص نطاقات السفر (X/Y: 100×100 مم إلى 400×400 مم) ومعلمات الحركة، مما يتيح لمصنعي أشباه الموصلات تحقيق إنتاجية أعلى للحز، وتقليل تآكل الأدوات، وتلبية متطلبات التسامح المشدد لمعالجة الرقائق المتقدمة.

المزايا الأساسية

1. دقة فائقة في حفر الرقاقات

مجهزة بأجهزة تشفير خطية عالية الدقة (دقة 0.05 ميكرومتر) ومحركات خطية ذات محرك مباشر، تحقق المنصة دقة تحديد موضع متكررة ± 0.5 ميكرومتر ودقة تحديد موضع مطلقة ± 1 ميكرومتر (محاور X/Y). وهذا يضمن التحكم الدقيق في مسار الحز والعمق، والقضاء على انحراف الفتحة، والعمق غير المتساوي، وتقطيع الحواف - وهو أمر بالغ الأهمية للحفاظ على السلامة الهيكلية للرقاقة وجودة فصل القالب اللاحقة.

2. بنية مكدسة عالية الصلابة

تستخدم تصميمات آلة شق الويفر مكونات هيكلية متكاملة من سبائك المغنيسيوم وسبائك الألومنيوم مع تصنيع دقيق، مما يوفر صلابة استثنائية (صلابة ≥200N/μm) لمقاومة التشوه الناتج عن قوة القطع. يضمن هذا الاستقرار جودة حز متسقة عبر سطح الرقاقة بأكمله، حتى عند معدلات التغذية العالية (حتى 80 مم/ثانية) وأحمال القطع الثقيلة (50N).

3. عملية منخفضة الاهتزاز ومستقرة حرارياً

مصنوعة بقاعدة من الجرانيت الطبيعي (معامل التمدد الحراري ≥0.5×10⁻⁶/°C) ونظام تخميد الاهتزاز النشط، فإن آلة شق بسكويت الويفر تقلل من الانحراف الموضعي الناتج عن تقلبات درجة الحرارة (≥0.1μm/°C) والاهتزازات الخارجية. تعمل آلية الدفع المباشر غير المتصلة على التخلص من رد الفعل الميكانيكي العكسي والتآكل، مما يضمن استقرار تحديد الموقع على المدى الطويل (MTBF ≥30,000 ساعة) ويقلل وقت التوقف غير المخطط له لخطوط معالجة الرقاقات.

4. التوافق والمرونة على نطاق واسع

تدعم ماكينة شقف الويفر التبديل السلس بين أحجام الويفر 4/6/8/12 بوصة مع خراطيش مفرغة قابلة للتعديل وآليات توسيط تلقائي، دون الحاجة إلى استبدال تركيبات مخصصة. إنها تستوعب سماكة الرقاقة من 100 ميكرومتر إلى 800 ميكرومتر ومتوافقة مع رقائق السيليكون، وGaAs، وSiC، وGaN، وتتكيف مع احتياجات الحز للرقائق المنطقية، وأجهزة الذاكرة، وأشباه الموصلات المركبة.

5. التحكم في الحركة عالي السرعة والفعال

تتيح خوارزميات التحكم في الحركة المحسنة حركة عالية السرعة (السرعة القصوى X/Y: 80 مم/ثانية) مع وقت استقرار منخفض للغاية (أقل من 25 مللي ثانية لـ X/Y)، مما يدعم حز الرقاقة عالية الإنتاجية (ما يصل إلى 150 رقاقة في الساعة للرقائق مقاس 8 بوصات). يقلل ملف التسارع/التباطؤ السلس من قوة تأثير الأداة، مما يزيد من عمر قاطعة الماس بنسبة تصل إلى 30% مقارنة بمنصات الحركة التقليدية التي تعمل بالحزام.

6. سهولة التكامل والامتثال لغرفة الأبحاث

تم تصميم المنصة لتشغيل غرف الأبحاث من الفئة 100، وتتميز بمرفقات محرك خطي محكمة الغلق ودوران هواء مفلتر بـ HEPA لمنع توليد الجسيمات (انبعاث جسيمات ≥0.1μm). متوافق مع بروتوكولات الاتصالات القياسية الصناعية (EtherCAT، PROFINET، Modbus)، فهو يتكامل بسلاسة مع أنظمة التحكم في معدات معالجة الرقاقات، مما يقلل من وقت التكامل وتكاليف الشركات المصنعة للمعدات.

المواصفات الفنية

سيناريوهات التطبيق

تم تصميمها للتحكم في حركة X-Y في حز/شق الرقاقة، ماكينة شق الرقاقة الخاصة بنا تُستخدم على نطاق واسع في تطبيقات أشباه الموصلات التالية:

● حز الشوارع باستخدام مكعبات الويفر: الحز المسبق لشوارع التقطيع من أجل تقطيعها بالليزر أو الميكانيكي لرقائق المنطق/الذاكرة

● فتحات تشذيب الحواف: فتحات دقيقة لحواف الرقاقة لإزالة المواد المعيبة وتحسين إنتاجية التغليف

● حز أشباه موصلات الطاقة: أخاديد ذات شكل مخصص لتغليف أجهزة الطاقة SiC/GaN (قنوات تبديد الحرارة)

● تعبئة مستوى الرقاقة (WLP): التخديد لعزل طبقة إعادة التوزيع (RDL) وفصل القالب

● معالجة مركبات أشباه الموصلات المركبة: حفر رقاقات GaAs/GaN لتصنيع أجهزة التردد اللاسلكي

حول ديوت

تعمل آلة شق الويفر الخاصة بنا على الاستفادة من كفاءاتنا الأساسية في التصميم الهيكلي الدقيق وهندسة التحكم في الحركة لمواجهة التحديات الفريدة المتمثلة في حفر الويفر. نحن نقدم حلولاً شاملة - بدءًا من تصميم النظام الأساسي المخصص والنماذج الأولية وحتى التثبيت في الموقع والمعايرة والدعم الفني مدى الحياة - مما يضمن أن منتجاتنا تلبي معايير الصناعة الأكثر صرامة فيما يتعلق بالدقة والموثوقية.

ملتزمة بـ "الدقة تدفع التقدم والابتكار يخلق القيمة"، حصلت Deaote على شهادة ISO 9001:2015 وتستثمر 15% من الإيرادات السنوية في البحث والتطوير لتطوير حلول الحركة من الجيل التالي لصناعة أشباه الموصلات. تضمن شبكة خدماتنا العالمية أوقات استجابة سريعة ودعمًا محليًا لعملائنا الدوليين.