وحدة المحرك الخطي الرخامي ثنائي المحور

بنيت على قاعدة من الجرانيت من الدرجة 00 (تم اختيارها لمعامل التمدد الحراري المنخفض وخصائص تخميد الاهتزاز)، تدمج وحدة المحرك الخطي الرخامي ثنائي المحور محورين للمحرك الخطي عالي الأداء مع أدلة تحمل الهواء لتوفير دقة تكرار تبلغ ± 0.5 ميكرومتر - مثالية للطباعة الحجرية لأشباه الموصلات، والتصنيع الدقيق بالليزر، والفحص البصري، وأنظمة القياس الدقيقة.

تم تصميم وحدة المحرك الخطي الرخامي ثنائي المحور لمعالجة قيود المراحل ثنائية المحور المصنوعة من الألومنيوم أو الفولاذ (الانجراف الحراري، والاهتزاز، والصلابة المنخفضة)، وتزيل التشوه الميكانيكي في ظل حركة عالية السرعة (تصل إلى 2 متر/ ثانية لكل محور) وتحافظ على دقة متسقة عبر درجات حرارة التشغيل (-10 درجة مئوية إلى 40 درجة مئوية). يتيح نظام التحكم المتزامن للمحور X-Y (المعتمد على EtherCAT) مزامنة الحركة على مستوى النانومتر، وهو أمر بالغ الأهمية للعمليات فائقة الدقة مثل تغليف شرائح 7 نانومتر، وتصنيع المكونات البصرية الدقيقة، والقياس ثلاثي الأبعاد المتقدم.

تم تصنيع وحدة المحرك الخطي الرخامي ثنائي المحور وفقًا لمعايير الجودة البصرية ISO 9001:2015 وISO 10110، وتتميز بنظام إدارة الكابلات المحكم، والطلاء المضاد للكهرباء الساكنة، وخيارات متوافقة مع الفراغ (لاستخدام غرف الأبحاث بأشباه الموصلات). متوافق مع وحدات التحكم في الحركة الرائدة في الصناعة (Aerotech، PI، Newport) وأنظمة القياس (مقاييس تداخل الليزر Renishaw)، فهو يندمج بسلاسة في خطوط التصنيع فائقة الدقة، مما يحسن إنتاجية العملية بنسبة تصل إلى 20% مقارنة بالمراحل ثنائية المحور ذات القاعدة المعدنية التقليدية.

سلسلة المنتجات

سلسلة DT-GM-DX1 (الدقة المدمجة)

نطاق السفر X-Y: 100×100 مم إلى 500×500 مم، دقة التكرار ±0.5μm، السرعة القصوى 1m/s لكل محور. مثالية لتصنيع المكونات الضوئية الدقيقة، والقياس الدقيق، وتغليف أشباه الموصلات صغيرة الحجم.

سلسلة DT-GM-DX2 (متوسطة المدى وعالية السرعة)

نطاق السفر X-Y: من 500×500 مم إلى 1000×1000 مم، دقة التكرار ±1μm، السرعة القصوى 2m/s لكل محور. مناسب للتصنيع الدقيق بالليزر، وإصلاح لوحة LCD، والفحص البصري متوسط ​​التنسيق.

سلسلة DT-GM-DX-VAC (متوافقة مع المكنسة الكهربائية)

نطاق السفر X-Y: 100×100 مم إلى 800×800 مم، دقة تكرار ±0.5μm، تصنيف الفراغ 10⁻⁶ ملي بار. مصممة لتطبيقات غرف الأبحاث لأشباه الموصلات، وطلاء الفراغ، وأنظمة محاكاة الفضاء.

المزايا الأساسية

1. قاعدة جرانيت 00 درجة لاستقرار لا مثيل له

مصنوعة من الجرانيت الطبيعي بدرجة 00 (معامل التمدد الحراري ≥0.5×10⁻⁶/°C)، توفر القاعدة ثباتًا حراريًا استثنائيًا (<0.001 مم/°C) وتخميد الاهتزاز (يخفف 80% من الاهتزازات عالية التردد). يؤدي هذا إلى التخلص من الانجراف الحراري والرنين الميكانيكي - المشكلات الشائعة في المراحل القائمة على المعادن - في عمليات التصنيع فائقة الدقة.

2. دقة دون الميكرون مع أدلة حمل الهواء

تعمل الأدلة الخطية الحاملة للهواء المدمجة (بدلاً من المحامل الكروية التقليدية) على التخلص من الاحتكاك والتآكل، مما يحقق دقة تحديد موضع متكررة تبلغ ± 0.5 ميكرومتر ودقة 1 نانومتر (عبر تشفيرات Renishaw المطلقة). ويضمن التصميم غير القابل للتلامس تشغيلًا بدون صيانة لأكثر من 100 مليون دورة، وهو أمر بالغ الأهمية لإنتاج كميات كبيرة وفائقة الدقة.

3. التحكم في الحركة المتزامنة لمحور X-Y

يتيح التحكم في الحركة في الوقت الفعلي القائم على EtherCAT المزامنة على مستوى النانومتر بين محوري X وY (خطأ المزامنة ≥50 نانومتر)، ويدعم ملفات تعريف الحركة المعقدة (الاستكمال الدائري، والمسح الحلزوني) المطلوبة للتصنيع الدقيق بالليزر والزخرفة البصرية. البنية المفتوحة متوافقة مع برامج الحركة التابعة لجهة خارجية (LabVIEW، MATLAB).

4. صلابة عالية وتشوه منخفض

يوفر هيكل الجرانيت المقوى مع التضليع المتكامل صلابة تبلغ ≥300N/μm، مما يقلل من الانحراف تحت الأحمال الديناميكية (حتى 50 كجم لكل محور). ويضمن هذا الاستقرار دقة متسقة حتى أثناء التسارع عالي السرعة (1 جرام)، مما يقلل من تباين العملية ويحسن إنتاجية المنتج.

5. قابل للتخصيص للتطبيقات فائقة الدقة

تخصيص كامل لنطاق السفر (100×100 مم إلى 1000×1000 مم)، ودقة التشفير (1 نانومتر إلى 1 ميكرومتر)، والتوافق مع الفراغ (10⁻³ إلى 10⁻⁶ ملي بار)، وتشطيب السطح (Ra ≥0.02μm). تشتمل الميزات الاختيارية على طلاء مضاد للكهرباء الساكنة، ومواد متوافقة مع غرف الأبحاث، وقياس تداخل ليزر متكامل للمعايرة في الموقع.

6. موثوقية من الدرجة الصناعية لاستخدام غرف الأبحاث

درجة الحماية IP67 (قياسية) / IP68 (إصدار مفرغ)، طلاء مضاد للكهرباء الساكنة (10⁶-10⁹ Ω/sq)، وانبعاث جسيمات منخفض (متوافق مع غرف الأبحاث من الفئة 1) يجعلها مناسبة لمصانع أشباه الموصلات وغرف الأبحاث الخاصة بالتصنيع البصري. MTBF ≥40,000 ساعة في ظل التشغيل المستمر، مما يقلل إجمالي تكلفة الملكية (TCO) بنسبة 30% على مدار 5 سنوات.

المواصفات الفنية

قاعدة الجرانيت (00 درجة) ± 0.5μm دقة تحديد المواقع المتكررة للمحور X-Y الحركة المتزامنة الاستقرار الحراري (.001 مم / درجة مئوية) الصلابة العالية (≥300 نيوتن / ميكرومتر)

سيناريوهات التطبيق

تم تصميم وحدات المحرك الخطي الرخامي ثنائي المحور من Deaote للتصنيع فائق الدقة عبر قطاعات التكنولوجيا العالية العالمية:

● أشباه الموصلات والإلكترونيات الدقيقة: تغليف شرائح 7 نانومتر/5 نانومتر، فحص الرقاقات، محاذاة الطباعة الحجرية، تصنيع أجهزة الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة

● التصنيع البصري: تصنيع المكونات الضوئية الدقيقة (العدسات، المنشورات)، تجميع مصفوفة الألياف الضوئية، الزخرفة بالليزر للركائز الزجاجية

● القياس الدقيق: القياس البصري ثلاثي الأبعاد، ومراحل حركة آلة قياس الإحداثيات (CMM)، وتحديد ملامح السطح على مستوى النانومتر

● المعالجة الدقيقة بالليزر: الاستئصال بالليزر، والحفر الدقيق، والنقش الدقيق للمواد الصلبة (السيليكون، والياقوت، والسيراميك)

● الفضاء الجوي والدفاع: تصنيع أجهزة الاستشعار الدقيقة، ومعايرة مكونات الملاحة بالقصور الذاتي، وتجميع النظام البصري للأقمار الصناعية

حول ديوت

Suzhou Deaote Precision Mould Co., Ltd. هي شركة رائدة في مجال التكنولوجيا الفائقة متخصصة في البحث والتطوير والتصنيع والمبيعات لمكونات الحركة فائقة الدقة - مع التركيز على وحدات المحركات الخطية القائمة على الجرانيت لأسواق أشباه الموصلات والبصريات والفضاء العالمية. بفضل أكثر من 15 عامًا من الخبرة في تصميم القوالب الدقيقة ونظام الحركة فائق الدقة، فإننا نخدم العملاء في جميع أنحاء أوروبا وأمريكا الشمالية واليابان وكوريا في قطاعات التصنيع المتطورة.

تم تطوير وحدات المحرك الخطي الرخامي ثنائي المحور في مختبرنا المخصص للبحث والتطوير للحركة فائق الدقة، مع الاستفادة من تصنيع الجرانيت المتقدم (تفاوت ± 0.001 مم)، ومعايرة الليزر، وتقنيات التجميع الحاملة للهواء لتحقيق دقة أقل من الميكرون. نحن نقدم خدمات تخصيص شاملة - بدءًا من تصميم الوحدات والنماذج الأولية وحتى المعايرة في الموقع والدعم الفني العالمي - لضمان تلبية حلولنا للمتطلبات الفريدة لخطوط التصنيع فائقة الدقة.

ملتزمة بـ "الدقة على مستوى النانومتر، والاستقرار مدى الحياة"، تستثمر Deaote 20% من الإيرادات السنوية في البحث والتطوير لتطوير حلول الحركة فائقة الدقة من الجيل التالي. تضمن منشأة الإنتاج المعتمدة لدينا الحاصلة على شهادة ISO 9001:2015 وISO 10110 وشبكة الخدمة العالمية أوقات استجابة سريعة (≥48 ساعة) ودعمًا فنيًا محليًا، مما يجعلنا شريكًا موثوقًا به لمصنعي المعدات المتطورة فائقة الدقة في جميع أنحاء العالم.